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内容简介

微机械加速度计是以IC工艺和微机械加工工艺为基础制作的MEMS器件，在军民两用领域均有广泛的应用前景。《微惯性仪表》以作者参加“九五”、“十五”重点预研课题及清华大学“985”校级重点项目 工作 为基础写成。全书共分9章，主要内容包括：微机械加速度计的类型、工作原理及 数学 模型，电容式微机械加速度计的结构和电路，微机械加速度计的集成、误差分析、主要性能指标及测试 方法 ，微机械加速度计的应用及进一步研究动向等。 《微惯性仪表》

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