内容简介
《半导体制造与过程控制基础》详细地研究并阐述了在高产量制造 环境 中，电子材料和供料转换为完善的集成电路和电子 产品 的过程和 方法 。《半导体制造与过程控制基础》讨论与微电子器件和电路的工业水平制造相关的问题，包括（但不限于）制造、过程控制、试验 设计 、过程建模、产出建模和CIM（ 计算机 集成制造）／CAM（计算机辅助制造）系统。《半导体制造与过程控制基础》包括对基本制造概念理论和实践的描述，以及一些案例分析、典型问题和建议的练习。
《半导体制造与过程控制基础》可作为相关专业研究生的教材，也可在半导体制造课程中使用。《半导体制造与过程控制基础》也可作为半导体工业中实践工程师和科研人员的参考书。
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