《真空 技术 》包括真空技术的 物理 基础及实际技术两大部分。物理基础部分由稀薄气体理论及固体一气体间的现象两章组成；实际技术部分包括真空获得、总压强测量、分压强测量、真空检漏技术及真空系统等5章。《真空技术》注重理论联系实际， 科学 系统性较完整，对问题的阐述力求做到理论严谨、概念准确。《真空技术》可作为电子物理与技术、半导体、微电子、冶金、真空设备和实验物理等有关专业的研究生及本科生教材使用，也可供有关真空技术应用方面的 科技 人员参考。
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